Image Sensors 제조사가 고품질 이미지 및 초고해상도에 대한 시장 수요를 충족할 수 있으려면 높은 픽셀 밀도와 동시에 금속 오염 제어로 향상된 특성을 가진 칩을 생산해야 합니다. 제조사는 이러한 특성간 균형을 이루면서 수율과 수익성을 최대화하는 과정에서 기술적으로 까다로운 여러 어려움에 직면하게 됩니다.

제조사 중요 해결과제:

  • 적색/근적외선에 대한 높은 양자 효율 달성
  • 암전류 및 white spot 등의 결함 최소화
  • 픽셀 크기 감소

Axcelis 솔루션:

업계 최고 기술력의 이온주입 솔루션으로 image sensor 제조사들이 이러한 까다로운 어려움을 해결할 수 있도록 지원하고 있습니다. Purion 플랫폼의 장점:

  • 더 높은 빔 에너지 – 최대 15MeV
  • Vector™ 제어 시스템으로 특화된 정밀한 각도 제어
  • 최고의 오염제어 기술 (particle & metal)

High Current, High Energy, Medium Current, Medium Energy를 위한 Purion 솔루션에 대해 자세히 알아보세요.