GSD 플랫폼은 가장 오랫동안 제조 및 지원되어 온 배치 이온 주입기의 업계 표준 기술입니다. Ovation™은 기존의 Axcelis 배치 주입기 설비와 원활하게 통합되도록 설계된 최신 기술의 배치 구성으로서, 장기적인 지속가능성을 위해 업데이트된 구성요소를 통해 점진적인 성능 개선을 제공합니다. Ovation은 최고의 신뢰성, 서비스 용이성 및 운영비용 최소화를 동시에 달성함으로써 GSD 시리즈 플랫폼의 생산 능력을 미래로 확장해줍니다.

향후 지속가능성 100% 지원

새로운 Ovation 구성은 생산량 확장과 지속가능성을 제공해주는 업계의 필수 툴입니다. 가상 설비 RAID 워크스테이션 및 고성능 엔드스테이션과 같은 혁신적인 개선 사항과 결합된 사전예방적 장기 개선 로드맵은 플랫폼 공정능력을 가장 빠르고 가성비가 좋게 확장, 최적화 및 유지관리를 도와줍니다.

개선된 신뢰성

이 시스템은 진공 상태의 웨이퍼 핸들링에서 핸들링 오류 및 웨이퍼 파손을 95% 감소시켜줍니다. Ovation 플랫폼은 최고 수준의 툴 가동시간을 보장하기 위해 지속적인 신뢰성 프로그램과 강력한 소프트웨어 지원을 제공합니다.

운영 비용

혁신적인 수소 발생기, 이온소스 부싱 실드, 그리고 긴 수명의 추출 전극의 조합은 특히 플루오르가 포함된 이온에서 소스 운영 비용을 최대 40%까지 절감합니다.