产品
概览
为未来打造离子注入平台
高产量，高一致性
Purion 平台的先进设计可实现高达 500 片/小时的产量，最大限度提高产能。作为一个真正的单晶圆平台，Purion 确保了批处理注入机无法实现的一致性和可重复性。
量身定制，满足您的需求
有特殊的注入或制程要求？ Axcelis 工程师将与您协力开发技术扩展，优化您的 Purion 注入机，进而满足您的精度需求。随着这些需求不断演变，Purion 平台也在演变——长久保护着您的投资。
Purion 平台的先进设计可实现高达 500 片/小时的产量，最大限度提高产能。作为一个真正的单晶圆平台，Purion 确保了批处理注入机无法实现的一致性和可重复性。
有特殊的注入或制程要求？ Axcelis 工程师将与您协力开发技术扩展，优化您的 Purion 注入机，进而满足您的精度需求。随着这些需求不断演变，Purion 平台也在演变——长久保护着您的投资。