GSD 平台作为批处理离子注入机，具有最长的制造和支持历史，是行业标杆。Ovation™ 是最新的批处理机台，旨在与现有 Axcelis 批处理注入机型号无缝集成，同时通过组件更新提升性能，实现长期可持续性使用。Ovation 将 GSD 系列平台的生产实用性扩展到未来应用，同时实现至优的可靠性、可维修性和最低的运转成本。

100%未来可持续

全新 Ovation 配置具有业内领先的扩容能力。虚拟机 RAID（独立磁盘冗余阵列）工作站、高性能基站等创新改进成果与前瞻性的持续改进路线图相辅相成，以最快且最经济的方式扩展、优化和维系平台能力。

可靠性提升

系统在真空晶圆传送中将误操作和晶圆破损率降低 95%。Ovation 平台提供持续的可靠性程序和强大的软件支持，以确保工具正常运行时间最大化。

运转成本

创新型氢气发生器、离子源罩壳和超长寿命吸极电极相结合，使离子源运转成本降低 40%，尤其是使用氟化物元素时效果尤为显著。