我們的 Purion XE 系列離子植入機已迅速贏得聲譽，成為當今嚴苛的高能量製程的行業標準。其獨特的射頻直線加速器 (LINAC) 技術提供了比競爭對手平台更高的可靠度、更寬廣的能量範圍和更高的生產率，並具有卓越的金屬污染控制。

純度

我們以 RF LINAC為基礎的離子束通道其多重過濾技術可濾除其他設計遺漏的不純物，從而實現業界最低水平的金屬和微粒污染。

精密

專利的VectorTM 控制系統獨特地提供原位的水平和垂直測量和校正，可以實現零度植入。

生產力

受惠於我們的高速 Purion 傳送機構和RF LINAC為基礎的離子束通道，可提供高達 500 WPH 的生產能力，在最廣泛的能量範圍內（從 40 keV 到 15 MeV）提供業界最高的離子束電流。