GSD 平台是量產時間最長且持續支持服務的批量離子植入機的業界基準。Ovation™ 是最新的批量植入機配置，旨在與現有的 Axcelis 批量植入機型無縫整合，同時通過更新的組件提升性能表現，以實現長期可持續性。Ovation 將 GSD 系列平台的生產相關性擴展到未來，同時提供最高的可靠度、可維護性和最低的營運成本。

100% 前瞻可持續性

全新的 Ovation 配置是業界的標竿用於能力擴展及更高範疇。創新改進，如帶有高性能傳送機構的虛擬機 RAID 工作站，結合主動的持續改進，能夠以最快、最具成本效益的方式擴展、優化和維持平台功能。

已改善可靠度

該系統可將真空區晶圓傳送的錯誤處理和晶圓破損減少 95%。Ovation 平台提供持續的可靠度計畫和強大的軟件支援，以確保最高水準的正常運行時間。

營運成本

創新的氫氣產生器、離子源套管護罩和延長壽命汲取電極的組合可將離子源操作成本降低多達 40%，尤其是氟化物元素。