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我们的全系列离子注入机依托新一代 Purion 平台,以最低的拥有成本实现高精度、高纯度和高产能。

专业化解决方案
满足多种应用需求

我们结合深厚的技术专长与前沿离子注入技术,
提供切实可行的解决方案,精准应对您晶圆厂面临的挑战。

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