DRAM 및 NAND 플래시 메모리 제조사가 폭발적인 글로벌 수요 증가를 소화할 수 있으려면 생산성을 극대화하는 동시에 최고 수준의 품질, 일관성 및 신뢰성을 유지해야 합니다. 이러한 목표를 달성하는 과정은 팹 공정에 여러 어려운 해결과제를 안겨줍니다.

제조사의 주요 해결과제:

  • 높은 종횡비 구조 구현
  • 트랜지스터 접합 구동 성능 최적화
  • 멀티패터닝 문제 관리

Axcelis 솔루션:

업계 최고 기술력의 이온주입 솔루션으로 메모리 제조사들이 이러한 까다로운 어려움을 해결할 수 있도록 지원하고 있습니다. 당사의 Purion 플랫폼의 이점:

  • 독점적인 Vector™ 제어 시스템에 의한 정밀한 각도 제어
  • Eterna™ ELS Source를 이용한 고품질 이온생성
  • 최고의 오염제어 기술 (particle & metal)
  • 물성변경 공정을 위한 다양한 종류의 이온 대응
  • 이온빔 특성을 이용한 품질과 생산성을 극대화

High Current, High Energy, Medium Current, Medium Energy를 위한 Purion 솔루션에 대해 자세히 알아보세요.