雖然半導體行業一直朝向新技術和更大的晶圓發展,但使用成熟製程技術的晶圓廠仍然繼續為各種製程應用生產大量晶片。現有 200mm 晶圓廠的擁有者仍然需要讓他們充分利用現有製程技術的解決方案。

晶圓廠主要挑戰:

  • 提升生產力
  • 生產不同尺寸的晶圓
  • 適用廣泛的產品組合

Axcelis 解決方案:

我們提供業界頂尖的離子植入解決方案協助解決成熟製程技術晶圓廠的製程挑戰。Axcelis提供:

  • 對 200mm晶圓廠的承諾
  • 持續改進計劃以提升晶圓廠表現和產能,並擴展現有製程技術

瞭解Purion系列的高電流高能量中電流中能量機型。