Purion 系列離子植入機是與我們的客戶合作開發的，旨在應對當今和未來 10 奈米或更小的製程挑戰。Purion 平台建立在 21 世紀的架構之上，採用獨特的應用技術設計，可提供最高的純度、精密度和生產力以及最低的生產成本。