当社のPurion XEシリーズのイオン注入装置は、現在需要の大きい高エネルギー製法向けの業界標準として急激に評価を高めています。独自のRF線形加速器（LINAC）技術が、競合のプラットフォームよりも高い信頼性、広いエネルギー範囲を提供し、優れた金属混入制御とともに提供します。

純度

当社のRF LINACをベースとするビームラインに用いられているマルチフィルタ技術が、他の設計では逃してしまう不純物をフィルタリングし、金属・パーティクル混入を業界トップレベルの低さに抑えます。

精度

特許を取得したVectorTM制御システムが、その場で水平・垂直確度の測定と補正を行い、ゼロ度注入を可能にします。

生産性

当社の高速PurionエンドステーションとRF LINACをベースとするビームラインにより、最大500WPHのスループットを実現し、最も広いエネルギー範囲（40keV～15MeV）全体に業界最高のビーム電流を提供します。