GSDプラットフォームは、最も長く製造およびサポートされているバッチ式イオン注入装置の業界ベンチマークです。 Ovation™は、Axcelisバッチインプランターの既存GSDシリーズとシームレスに統合するように設計された最新のバッチ式装置構成です。今日のニーズに合わせて開発されたコンポーネントでパフォーマンスを段階的に向上させることにより、長期的な装置の稼働を可能にします。 Ovationは、GSDシリーズプラットフォームの生産適応性を将来に拡張すると同時に、最高の信頼性、保守性、および最低の運用コストを実現します。

100％の将来の持続可能性

新しいOvation構成は、生産性増強およびそれ以降のための業界標準ツールです。高性能エンドステーションを備えた仮想マシンRAIDワークステーションのような革新的改善に加えて、積極的な継続的改善ロードマップがプラットフォーム機能を拡張、最適化、および維持するための最も迅速で費用効果の高い方法を可能にします。

信頼性の向上

このシステムは、真空搬送における誤処理とウェーハ破損を95％削減することを特徴としています。 Ovationプラットフォームは、継続的な信頼性プログラムと堅牢なソフトウェアサポートを提供して、最高レベルのツール稼働時間を保証します。

運用コスト

革新的な水素発生器、ソースブッシングシールド、および長寿命引き出し電極の組み合わせにより、特にフッ素系イオン種の場合、ソースの運用コストを最大40％削減できます。